Введение в микросистемную технику
Нарайкин О.С., Потловский К.Г., Холевин В.В.
Микросистемная техника – активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям. Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения. Для студентов, изучающих курс «Микросистемная техника»;Гриф:Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Микросистемная техника»
ปี:
2011
สำนักพิมพ์:
Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
ภาษา:
russian
จำนวนหน้า:
49
ไฟล์:
PDF, 1.29 MB
IPFS:
,
russian, 2011